主要规格及技术指标

X射线光电子能谱（XPS），也可完成UPS紫外光电子能谱、LEIPS低能反光电子能谱测试，配有Ar-GCIB氩团簇离子源、热催化原位池、冷热样品台、真空转移装置等。

主要功能及特色

可用于样品的表面元素成分、元素化学态分析，可完成XPS、热催化准原位XPS 、UPS、LEIPS、精准定位微区分析、深度剖析测试、XPS角分辨等测试。

主要附件及配置

Al靶、硬X射线源Cr靶、热催化原位池、冷热样品台、真空转移装置。