扫描范围100um x 100um x 15um, 三方向闭环扫描器;闭环噪音水平0.035nm,
除了用于原子力显微镜的常规测试外,更适用于结合光学显微镜和荧光显微镜的形貌和模量等的测试。
样品加热台,液体池;倒置光学显微镜;三色荧光光源