仪器分类
台阶仪
台阶仪
仪器编号
规格
生产厂家
Bruker
型号
Dektak XT
制造国家
分类号
放置地点
Array113
出厂日期
2024-04-12
购置日期
2024-04-12
入网日期
2024-04-12

主要规格及技术指标

最大扫描长度:55mm;垂直分辨率0.1nm;最大样品厚度30mm;

主要功能及特色

看测量膜厚,表面粗糙度,膜与基底的应力等

主要附件及配置

2um探针和700nm探针

公告名称 公告内容 发布日期