主要规格及技术指标

最大扫描长度：55mm；垂直分辨率0.1nm；最大样品厚度30mm；最大垂直测量范围1mm；

主要功能及特色

看测量膜厚，表面粗糙度，膜与基底的应力等

主要附件及配置

2um探针和700nm探针