主要规格及技术指标

电子枪：肖特基场发射电子枪
加速电压：200V~30kV
着陆电压：20V~30kV
放大倍数：10~1,000,000
电子束流：1pA~50nA
分辨率：Field-free模式：0.9nm@15kV，1.0nm@1kV，1.2nm@500V
Immersion模式：0.5nm@15kV，0.8nm@1kV，0.8nm@500V
样品台：5轴马达控制，X=Y=110mm, Z=65mm, 倾斜-15°~+90°

主要功能及特色

超高分辨成像场发射扫描电子显微镜，可用于导电和不导电样品的形貌/成分/表面观察，可进行能谱分析（点/线/面）

主要附件及配置

二次电子探头，背散射电子探头，定向背散射探头，能谱分析仪