主要规格及技术指标

场发射电子枪；最大加速电压：200kV；点分辨率：0.25nm；线分辨率：0.1nm；信息分辨率：0.12nm

主要功能及特色

形貌；衍射；三维重构

主要附件及配置

EDS；STEM；样品冷冻传输系统；等离子清洗系统；三维重构组件