主要规格及技术指标

电子放大倍数：80～150,000x
分辨率：10 nm (BSD)；8 nm (SED)
加速电压：基本模式 5、10、15 kV；高级模式 4.8～15 kV 连续可调
电子光学：长寿命、高亮度的 CeB6 灯丝
电子成像：高灵敏度四分割背散射电子探测器，可同时检测形貌和成分
光学放大倍数：20～135x
光学照明：明场和暗场模式
光学图像：彩色导航相机
样品台：软件控制的马达驱动
样品尺寸：直径 25 mm，高度 30 mm
载样时间：抽真空时间＜15 s，成像时间＜30 s

主要功能及特色

台式小型防震设计，嵌入式的光学显微镜导航，快速简单的微观形貌表征，磁性样品的表征。

主要附件及配置

各类材料（包括含Fe Co Ni等磁性样品）的微观形貌表征。