场发射扫描电子显微镜

[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : FEI公司
购置日期 : 2018-05-07
规格型号 : Nova NanoSEM 450
[ 分类信息 ]
设备类型 : 显微分析
设备编号 : 201245797
[ 联系信息 ]
联系人 : 李勇, 李瑟思, cal, 赵辉
存放地址 : 印刷厂楼114
联系电话 : 54743271-112
联系邮箱 : liyong@sjtu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :

能进行高电压、低电压低真空超高分辨率成像的系统,用于导电和不导电样品的的形貌观察。能在两种真空模式自由切换,高真空(典型10-5mbar)模式进行导电或传统方法制备的样品的成像和分析,低真空模式(小于200Pa)进行不导电样品的成像和分析,不需要进行样品制备或喷镀。

主要功能及特色 :

主要规格及技术指标 :

电子枪:新一代肖特基场发射电子枪
加速电压:200V-30kV,连续可调
着陆电压:50V到30kV,连续可调
放大倍率:10~1,000,000
电子束流:0.6pA~200nA
分辨率(高真空):1.0 nm @ 15 kV, 1.4 nm @ 1 kV
分辨率(低真空):1.8 nm @ 3 kV,1.5 nm@ 10 kV
成像模式:二次电子像、背散射电子像以及两者混合信号图像
样品台:5轴马达控制,X=Y=110mm,Z=25mm,倾斜+75度到-15度
最大样品尺寸:φ150mm,无限制旋转,

This is an example of a HTML caption with a link.
[ 开放机时安排 ]
[ 参考收费标准 ]