主要规格及技术指标

电子枪：新一代肖特基场发射电子枪
加速电压：200V-30kV，连续可调
着陆电压：50V到30kV，连续可调
放大倍率：10～1,000,000
电子束流：0.6pA～200nA
分辨率（高真空）：1.0 nm @ 15 kV, 1.4 nm @ 1 kV
分辨率（低真空）：1.8 nm @ 3 kV，1.5 nm@ 10 kV
成像模式：二次电子像、背散射电子像以及两者混合信号图像
样品台：5轴马达控制，X=Y=110mm，Z=25mm，倾斜+75度到-15度
最大样品尺寸：φ150mm，无限制旋转，

主要功能及特色

无

主要附件及配置

能进行高电压、低电压低真空超高分辨率成像的系统，用于导电和不导电样品的的形貌观察。能在两种真空模式自由切换，高真空（典型10-5mbar）模式进行导电或传统方法制备的样品的成像和分析，低真空模式（小于200Pa）进行不导电样品的成像和分析，不需要进行样品制备或喷镀。