主要规格及技术指标

设备最大压印尺寸为4 英寸，可以实现热压印、紫外曝光压印。最大压力可达0.6Mpa。紫外光源为365nm或405nm。设备真空度小于-95Kpa。支持自动脱膜技术。支持 ≤5nm 分辨率压印及20nm分辨率曲面压印。设备尺寸为3/4 IN。白色。

主要功能及特色

结构分辨率＜5nm，适配曲面压印分辨率小＜20nm，＞300°热压，365nm、405nm紫外压印等

主要附件及配置

主机包含真空系统，温度控制系统，压力控制系统，PLC 控制系统，软件操作界面，紫外光源，双面电磁加热系统，冷却系统。