主要规格及技术指标

本设备包含3个子系统：(1) 低真空场发射扫描电子显微镜，品牌：国仪量子，SEM4000 型号，电子显微镜sem部分空间分辨率优于1.0 nm，具有超高分辨、低真空、大面积拼接等模式，加速电压200V-30 kV，连续可调；（2）超大面积能谱分析仪，品牌：牛津仪器，Ultim max65 型号，主要参数：探测器面积65 mm2，具备元素实时刷新显示功能，可开展定性分析，AutoID 可自动标识谱峰，可进行谱重构，可开展定量分析：采用 XPP 定量修正技术；（3）共聚焦拉曼成像系统，品牌：Witec，Alpha300R 型号，主要参数：配备共聚焦拉曼显微镜和软件控制的共坐标系统；可全自动切换，光谱范围不小于100-4000 cm-1，光谱分辨率小于0.2 cm-1

主要功能及特色

SEM-EDX-Raman联合测试

主要附件及配置

Oxford 65mm2 EDS+ WiTEC Raman