仪器分类
扫描电子显微镜
扫描电子显微镜
仪器编号
20233019173
规格
1、分辨率:SE探头分辨率:3.0nm@30KV,15.0nm@1KV;BSE探头分辨率:4.0nm@30KV,6Pa;2、放大倍率:底片放大倍率×5-×300,000,显示放大倍率×7-×800,000;3、物镜光阑: 4孔可变物镜光阑(20,40,80,150μm)4、低真空范围覆盖6-650P
生产厂家
Hitachi日立
型号
SU3800
制造国家
日本
分类号
放置地点
Array霞光楼124
出厂日期
2025-04-18
购置日期
2025-04-18
入网日期
2025-04-15

主要规格及技术指标

分辨率:SE探头分辨率:3.0nm@30KV,15.0nm@1KV BSE探头分辨率:4.0nm@30KV,6Pa;放大倍率:底片放大倍率×5-×300,000,显示放大倍率×7-×800,000;物镜光阑: 4孔可变物镜光阑(20,40,80,150μm);低真空范围覆盖6-650Pa,能够实现一键切换;配备二次电子探测器,5分割背散射电子探测器,超级UVD探头

主要功能及特色

主要用于实现对样品的微观形貌表征以及元素分析

主要附件及配置

配备二次电子探测器,5分割背散射电子探测器,超级UVD探头

公告名称 公告内容 发布日期