分辨率:SE探头分辨率:3.0nm@30KV,15.0nm@1KV BSE探头分辨率:4.0nm@30KV,6Pa;放大倍率:底片放大倍率×5-×300,000,显示放大倍率×7-×800,000;物镜光阑: 4孔可变物镜光阑(20,40,80,150μm);低真空范围覆盖6-650Pa,能够实现一键切换;配备二次电子探测器,5分割背散射电子探测器,超级UVD探头
主要用于实现对样品的微观形貌表征以及元素分析
配备二次电子探测器,5分割背散射电子探测器,超级UVD探头
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