主要规格及技术指标

200kV加速电压下，HAADF-STEM 成像分辨率为78pm，SEM成像可达原子级别，TEM晶格分辨率为0.1nm；60kV加速电压下STEM暗场分辨率为0.1nm；能量分辨率优于0.5eV(200kV)；样品台X,Y方向移动范围≥±1mm, Z方向≥±0.4mm，样品漂移≤ 1 nm/min；样品杆：单倾杆的倾斜角度为α=± 25°；双倾杆的倾斜角度为α=± 25°,ß=± 25°;通气加热样品杆加热温度可达1500℃,样品局部气压可达10Pa;MEMS加热样品杆的加热温度可达1100℃；配备三维重构样品杆和样品杆清洁系统；能谱仪：牛津双80mm2有窗SDD能谱，固体角优于1Sr,能量分辨率优于127eV,元素分析范围：Be4-Cf98；样品最大可观测直径3mm

主要功能及特色

Hitachi HF5000作为一款NEG冷场发射球差校正透射电子显微镜，配备全自动Probe-foorming球差校正器，其分辨率达到亚埃级，可以实现对样品的超细微观结构的观察和分析。HF5000独特的TEM、STEM、SEM三位一体功能不仅可以实现对材料内部结构的研究，也可以获得材料表面的信息。原子级分辨率的二次电子探测器可以弥补TEM和STEM无法观察样品表面的缺陷，同时相比普通的SEM又具有更高的分辨率，可以满足样品表面高分辨形貌和结构观察的需求，与TEM和STEM形成互补。

主要附件及配置

电镜外罩；衍射挡针；三维重构样品杆；标准配置日立自动化 Probe-forming 球差校正，包含球差校正用CCD相机；标准配置BF-STEM和HAADF-STEM探测器，SE探测器